亚1州区2区3区产品乱码-亚1州区2区3区产品乱码站-亚VA芒果乱码一二三四区别-亚韩成人在线-亚韩精品-亚精产品一三三菠萝蜜

芬蘭Kibron專注表面張力儀測量技術,快速精準測量動靜態表面張力

熱線:021-66110810,56056830,66110819,66110690,13564362870 Email: info@vizai.cn

合作客戶/

拜耳公司.jpg

拜耳公司

同濟大學

同濟大學

聯合大學.jpg

聯合大學

寶潔公司

美國保潔

強生=

美國強生

瑞士羅氏

瑞士羅氏

當前位置首頁 > 新聞中心

雙內凹結構表面可實現對低表面張力液體的穩固超排斥

來源:哈工大鄭州研究院 哈爾濱工業大學 瀏覽 852 次 發布時間:2024-02-28

由于較低的表面張力,油滴很容易在固體表面鋪展潤濕,從而降低整個體系的界面自由能,因此,實現低表面扎張力的超排斥相對來說比較困難。為了實現低表面張力油的超排斥,目前有相關研究人員提出了雙內凹結構,通過雙內凹結構能夠有效鎖定固-液-氣三相接觸線,阻止液體沿著表面微結構向下滑移,從而將液體支撐在微結構空氣層上面而實現對不同液體的有效排斥。


但是,現有技術中制備得到的雙內凹結構尺寸均在幾十微米以上,雖然能夠實現低表面張力液體的超排斥,但這種排斥性極不穩定,如空氣流動或者液滴自身運動都會導致液體塌陷并濕潤固體表面。

一種制備更小尺寸雙內凹結構的方法,提高對低表面張力液體的超排斥能力,提升穩定性。


為解決上述問題,本發明提供一種微米雙內凹結構表面的制造方法,包括以下步驟:


步驟S1、在半導體材料的表面設置光刻膠層;其中,所述半導體材料包括上下設置的硅層和二氧化硅層,所述光刻膠層設置在所述二氧化硅層遠離所述硅層一側的表面上;


步驟S2、對所述光刻膠層進行第一刻蝕,使預設微圖案轉移至光刻膠層上,得到光刻膠掩模板;其中,所述預設微圖案為圓孔陣列結構,所述圓孔陣列結構中相鄰圓孔的間距相同;


步驟S3、根據所述光刻膠掩模板,對所述二氧化硅層進行第二刻蝕,在所述二氧化硅層上與所述預設微圖案對應位置形成第一圓柱孔陣列,所述第一圓柱孔陣列中包括多個周期性陣列的第一圓柱孔,得到第一刻蝕半導體材料;


步驟S4、在所述二氧化硅層中所述預設微圖案的對應區域,沿所述第一圓柱孔的軸向對所述硅層進行第三刻蝕,在所述硅層中形成與所述第一圓柱孔對應的第二圓柱孔,然后去除所述光刻膠掩膜板,得到第二刻蝕半導體材料;


步驟S5、在所述第二刻蝕半導體材料中具有所述二氧化硅層的一側沉積二氧化硅,形成沉積二氧化硅層,然后通過刻蝕去除位于所述第二圓柱孔底部的所述沉積二氧化硅層,得到第三刻蝕半導體材料;


步驟S6、采用深反應離子刻蝕機的Bosch工藝,對所述第二圓柱孔中的所述硅層進行各向異性刻蝕,得到第四刻蝕半導體材料;

步驟S7、繼續對所述第二圓柱孔中所述硅層進行各向同性刻蝕,在所述半導體材料上形成了微米雙內凹結構表面。


綜上所述,本發明實施例能夠在材料表面通過微加工的方式制備了特征尺寸在10微米以下的雙內凹結構表面,所制備表面具有較大的突破壓和界面穩固因子,可實現對低表面張力液體的穩固超排斥。


主站蜘蛛池模板: 91久久久精品无码一区二区 | 久久久久综合网久久 | 国产99久久亚洲综合精品西 | 欧美 自拍 在线 综合图区 | av天堂永久资源网 | 二区无码国产97人妻人人做人碰人人爽 | 97精品人妻一区二 | 日韩欧美国产岛国精品 | 亚洲日本天堂一区二区三区 | 国产精品成人亚洲一区二区 | 变态另类国产精品制服丝袜 | jizz18日本| 国产精品久久久久不卡绿巨人 | 国产麻豆精品免费 | 亚洲成av人影院 | 成人精品视频一区二区三区尤 | 波多野结衣一区二区三区高清 | 麻豆精品国产 | 夜夜嗨色综合av麻豆精品 | 亚洲国产高清视频在线观看 | 国产精品丝袜一区二区三区在线 | www.伊人久久 | 亚洲另类春色国产精品 | 日韩国产综合视频一区二区二 | 欧美在线亚洲 | 91尤物无码不卡在线 | 久久久久久夜色码 | 欧美熟妇黑人ⅹxxxxx | 国产AV亚洲国产AV麻豆 | 99成人精品成人一区二区 | 国产91短视频 | 成人精品一区二区三区电影免 | 99久久综合狠狠综合久久 | 欧美国产中文在线字幕视频 | aⅴ精品无码 | 激情文学小说区另类小说同性 | 18成禁人视频免费网站 | 欧美最猛性xxxxx亚洲精品 | 国产亚洲欧美日韩综合一区 | 国产成人av性色在线影院 | 东北老熟妇白浆大屁股流白浆 |