亚1州区2区3区产品乱码-亚1州区2区3区产品乱码站-亚VA芒果乱码一二三四区别-亚韩成人在线-亚韩精品-亚精产品一三三菠萝蜜

芬蘭Kibron專注表面張力儀測量技術(shù),快速精準測量動靜態(tài)表面張力

熱線:021-66110810,56056830,66110819,66110690,13564362870 Email: info@vizai.cn

合作客戶/

拜耳公司.jpg

拜耳公司

同濟大學(xué)

同濟大學(xué)

聯(lián)合大學(xué).jpg

聯(lián)合大學(xué)

寶潔公司

美國保潔

強生=

美國強生

瑞士羅氏

瑞士羅氏

當前位置首頁 > 新聞中心

動態(tài)表面張力在半導(dǎo)體晶圓清洗工藝的應(yīng)用

來源:翁開爾公司 瀏覽 1517 次 發(fā)布時間:2022-03-21

5G、人工智能、智慧交通等消費電子、汽車電子、計算機等應(yīng)用領(lǐng)域的發(fā)展,對芯片的性能提出更高的要求,加快了芯片制程升級,從而帶動了半導(dǎo)體行業(yè)的發(fā)展。半導(dǎo)體晶圓制造工藝包括清洗、曝光、顯影、刻蝕、CMP(化學(xué)機械拋光)、切片等環(huán)節(jié),需要用到各種特殊的液體,如顯影液,清洗液,拋光液等等,這些液體中表面活性劑的濃度對工藝質(zhì)量效果產(chǎn)生深刻的影響。

動態(tài)表面張力在半導(dǎo)體晶圓清洗工藝的應(yīng)用


半導(dǎo)體晶圓清洗工藝要求


芯片制造技術(shù)的進步驅(qū)動半導(dǎo)體清洗技術(shù)快速發(fā)展。在單晶硅片制造中,光刻,刻蝕,沉積等工藝后均設(shè)置了清洗工藝,清洗工藝在芯片制造進程中占比最大,隨著芯片技術(shù)節(jié)點不斷提升,對晶圓表面污染物的控制要求也越來越高。

為了滿足這些高的清潔度要求,在其中部分需要化學(xué)清洗的工序,清洗劑的濃度一定要保持在適當?shù)臐舛确秶畠?nèi),成功的清洗工藝有兩個條件:


1.為了達成所需的清潔效果,清洗劑的濃度需要在規(guī)定范圍內(nèi)。


2.在最后的漂洗過程后,須避免表面活性劑在硅晶圓上殘留,殘留的表面活性劑對后面的處理工藝會造成不利影響。


清洗工藝的好壞直接影響下一道工序,甚至影響器件的成品率和可靠性,然而在清洗工藝過程中,工人往往疏于監(jiān)控清洗和漂洗工序中表面活性劑的濃度,表面活性劑經(jīng)常過量,而為了消除表面活性劑過量帶來的不利影響,又往往要費時費力地增加漂洗工序階段的成本。



動態(tài)表面張力在半導(dǎo)體晶圓切片工藝的應(yīng)用


半導(dǎo)體晶圓切片和CMP工藝要求


晶圓切片工藝是在“后端”裝配工藝中的第一步。該工藝將晶圓分成單個的芯片,用于隨后的芯片接合(die bonding)、引線接合(wire bonding)和測試工序。在芯片的分割期間,金剛石刀片碾碎基礎(chǔ)材料(晶圓),同時去掉所產(chǎn)生的碎片。在切割晶圓時某一種特殊的處理液會用于冷卻工作時的刀片,這種處理液中會加入某種表面活性劑,以此來潤滑刀片并移除切割過程中產(chǎn)生的碎片,改善切割品質(zhì)、延長刀片壽命。


在半導(dǎo)體晶圓CMP工藝中,利用機械力作用于晶圓片表面,同時研磨液中的化學(xué)物質(zhì)與晶圓片表面材料發(fā)生化學(xué)反應(yīng)來增加其研磨速率。


拋光液是CMP技術(shù)中的決定性因素之一,其性能直接影響被加工工件表面的質(zhì)量以及拋光加工的效率。在CMP拋光液中,一般使用水基拋光液作為加工介質(zhì),以去離子水作為溶劑,加入磨料(如SiO2、ZrO2納米粒子等)、分散劑、pH調(diào)節(jié)劑以及氧化劑等組分,每個組分都具有相應(yīng)的功能,對化學(xué)機械拋光過程起到不同的作用。磨料通過拋光液輸送到拋光墊表面后,在拋光墊和被加工表面之間同時受到壓力作用以及相對運動的帶動,通過對被加工表面形成極細微的切削、劃擦以及滾壓作用,對表面材料進行微量去除。磨料的形狀、硬度、顆粒大小對化學(xué)機械拋光都具有重要的影響。分散劑是一種兼具親水性與親油性的界面活性劑,能夠均勻分散一些不溶于液體的固體顆粒,對于拋光液而言,分散劑能夠減少拋光液中磨料顆粒的團聚,提高拋光液中磨料的分散穩(wěn)定性。

主站蜘蛛池模板: 国产成人精品福利网站人 | 一色一伦一区二区三区 | 国产午夜精品91久久影院无码 | 国产成人无码aa精 | 亚洲欧美另类一区二区精品 | 国产色精品久久人妻 | 男人扒开女人腿桶免费视频 | 国产精品日本无码久久一 | 久久亚洲欧美日本精品品 | 91高清视频在线观看 | av天堂吧| 国产精品久免费的黄网站网站专区在线 | 国产理论剧情大片在线播放 | 国产午夜精品一区二区三区小说 | 97亚洲精华液 | 亚洲 欧美 bt | 91麻豆精品国产高清在线 | 国产精品人人做人人爽 | 一区二区播放 | 狠狠的撸2016最新版 | 国产日韩精品欧美一区视频 | 精品国产97在线观看 | 一级做a爱过程免费视频超级 | 99久久国产精品免费一区二区 | 污污内射在线观看一区二区少妇 | 免费看污又色又爽又黄又脏小说 | 国产av国片精品无套内谢无码 | 国产精品无码一区二区三四区 | 亚洲精品成人无码A片在线 亚洲精品成人无码区一在线观看 | 色欲AV亚洲午夜精品无码 | 少妇无码在线播放 | 无码人妻精品一区二区三区蜜桃 | 国产成人乱码一区二区三区 | 亚洲精品国偷拍自产在线 | 国产系列欧美系列日韩系列在线 | 国产va免费视频一区二区三区 | 天天综合日韩中文字幕婚闹 | 日韩一区二区三区久久精品 | 国产a毛片高清视频精品熟女日韩 | 成人在线一区二区三区四区 | 精品无人区无码乱码大片国产 |